IB电源ACCELERATOR

OPTORUN光驰自行开发的离子辅助蒸度高性能射频（RF）离子源，适应于在高速率下的离子束辅助沉积（IAD）及清洗。搭载在光驰的成膜设备适于各种光学滤光片的中规模量产。在离子辅助蒸镀大电流大面积的性能方面加以进化的RF离子源，维护性能的优化及中和器的改良，提高冷却效率来达到稳定生产的效果。适用于在高速率下离子束辅助沉积（ＩＡＤ）及清洗。搭载在光驰的成膜设备上可适合于各种光学滤光片的大规模量产。 我司有自行研发的光驰各系列测试系统，常修的光驰电源型号如下（常见故障有：通电无显示、无法启动、通讯异常、互锁信号异常、输出电压电流偏低或偏高、输出不稳、过热等）： 离子源控制器OISC-0ne 离子源电源 OISS-one OIS-Two OIS-Two Plus 离子源电源SOURCE DC OISS-II+ 离子源oIS-One/oIS-Two/oIS-Two Plus/OIS-ThreeOIS-Three Plus 光学膜厚监控仪 HOM2-N1-VIS350 HOM2-R-VIS350 HOM2-T-VIS350 HOM2-R-IR900 HOM2-T-IR900 HOM2-D1 HOM2-RT-S1 HOM4-R HOM5-T-IR2000 直接透过式监控仪DHOM2-T DHOM4-T 投光器用鼋源HOM2-P 投光器HOM2-L 分光器HOM2-N1/N2